智能设备

矽美科屡获殊荣的产品采用开放式架构设计和行业标准来实现设备互联和软件控制。

CIMConnect™
CIM300™
CIMPortal Plus™
CIMControlFramework™

设备连接

SECS/GEM

SECS/GEM是被众多类型设备最广泛采用的一个标准。SECS/GEM标准定义了消息，状态机和应用场景，使得工厂软件能够控制和监督生产设备。

Cimetrix CIMConnect™2020_CIMConnect_Diagram_v1-1

创建和主机通信的SECS/GEM接口

  • 全球的每个晶圆厂都有大量设备在使用和验证
  • 动态配置功能使其易于部署在多种不同类型设备上
  • 提供应用程序范例，加快您的开发进度
  • 控制面板提供实时观察窗口，用于设备诊断，测试和仿真操作
  • SMN为开发和使用GEM接口提供了方便的XML消息格式

GEM300

半导体工厂要求300mm设备符合SEMI GEM300通信标准，实现晶圆厂特定的使用场景。  屡获殊荣的CIM300™工具包为实现这些标准提供了完整的功能模块补充。

Cimetrix CIM300™

2020_CIM300_Diagram_v2实现300mm自动化连接标准

  • 通过全球所有300mm晶圆厂验证的成熟产品
  • 实现了所有SEMI GEM和GEM300标准
  • 对SEMI标准的相互依赖关系做了管理，简化了复杂的使用场景
  • 完美衔接了GEM300和EDA标准，包含了E157标准

EDA/Interface A

EDA/Interface A标准是为了晶圆厂提升数据采集性能和灵活性，提高数据采集质量而制定的。

Cimetrix CIMPortal™ Plus

2020_CIMPortalPlus_Diagram_v1实现设备侧EDA/Interface A连接标准

  • 全球十大设备供应商中有八家使用了超过十年的时间
  • 同时支持EDA冻结版本I，和冻结版本II
  • 符合E164标准，减少产品上市时间，降低生产成本
  • 灵活的数据采集框架使得该产品适用于任何一台设备

设备控制

矽美科设备控制解决方案，使得设备制造商能够满足工厂的监督控制，物料处理，控制平台，过程控制以及工厂自动化要求。

Cimetrix CIMControlFramework™

2020_CIMFramework_Diagram_v1实现高质量的设备控制解决方案

  • Visual Studio, C#, 和.NET 框架
  • 提供软件源代码
  • 内建SEMI GEM, GEM300, 和 EDA/Interface A 标准
  • 集成日志功能，降低故障分析难度