SECS/GEM介紹

SEMI SECS/GEM標準概要

SECS/GEM是一個由「國際半導體設備及材料(SEMI)」所開發的連通性標準。這項連通性標準是用來提供設備與工廠的資訊與控制系統之間的通訊。

SECS為「SEMI設備通訊標準 (SEMI Equipment Communications Standard)」的縮寫。GEM是指SEMI連通性標準E30,並且定義為「製造設備之通訊及控制的泛用模型」。

一般說來,SECS/GEM定義許多訊息、狀態機及情境以供工廠軟體能夠控制並監視製造設備。它被正式地訂定且稱為SEMI連通性標準E30。

下載Cimetrix SECS/GEM標準白皮書

SECS/GEM SEMI Connectivity Standard E30

 在工廠SECS/GEM實作中有兩方 - 主機及設備。設備是在它們的其中一台電腦上執行軟體,而且必須實作並符合SEMI E30。製造商(工廠)執行主機軟體,它會與設備的介面建立通訊。

主機無須符合完整的連通性標準,因為它僅設定設備期望。不過,要運用這個介面,主機就必須實作通訊作業的主機側。SECS/GEM設定對於各個可能主機訊息的明確設備行為期望。

通訊

SECS/GEM SEMI連通性標準定義主機與設備如何初始地建立通訊。它也定義當通訊中斷時如何重新建立通訊。線上識別方法可驗核設備的硬體和軟體識別身分。終端服務特性讓主機操作者及設備操作者能夠交換在主控台處手動鍵入的文字。

控制

SECS/GEM SEMI連通性標準概略描述一種控制狀態模型來定義主機與設備操作者之間的合作層級。設備提供三項基本的主機控制層級,這些決定主機控制及監視設備的能力:離線(OFFLINE)、線上/本地(ONLINE/LOCAL),以及線上/遠端(ONLINE/REMOTE)。設備操作者設定主機控制層級。遠端控制功能允許主機能夠發送像是「開始(START)」、「停止(STOP)」、「暫停(PAUSE)」、「恢復(RESUME)」和「取消(ABORT)」的命令來控制設備的處理作業。

操作通知

收集事件及警示讓主機能夠監視設備操作。設備收集事件會向主機通知重大的正常及異常活動。設備警示在當偵測到潛在危險活動並且後續地清除時會通知主機。主機決定將哪些收集事件及警示設定為通知。有些事件對SECS/GEM連通性標準為必要,但是會預期設備定義一些額外事件,藉以讓主機能夠監視設備特定性的活動。