テストツールユーティリティ

Cimetrixのテストツールユーティリティー製品を用いることで、装置メーカー様、及びエンドユーザーであるIC工場の双方で、装置が速やかに生産工程に投入できる状態にあるかどうかの確認作業を実施することができます。

装置のソフトウェアエンジニアは、開発プロセスの全体を通してEquipmentTestおよびECCE Plusの各ユーティリティーを使用し、SECS/GEMおよびEDA接続のスタンダードに準拠しているかを検証することができます。またEDAスタンダードについては、装置を工場へ出荷する前に、EDATesterを使用してスタンダードへの準拠状態、および工場固有の性能要求を満たしているかを確認できます。

Cimetrix ECCE Plus™

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ECCE Plusは業界標準リファレンスクライアントツールです。

  • データ収集プラン（DCP）の定義、および装置のEDAデータ収集を容易に実現するソリューションを提供します。
  • EDAのFreeze IおよびFreeze IIスタンダードセットを同時にサポートしています。
  • 殆どのエンドユーザーが、EDAスタンダード準拠要求仕様の確認テストのためにECCE Plusを用いています。

Cimetrix EDATester™

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EDATesterはEDA/Interface Aスタンダード準拠状況を厳密にチェックする自動テストツールです。　またEDAで要求される、データ収集のパフォーマンス測定も、簡単な設定で自動的に実施します。

  • コンプライアンステストおよびデータ収集性能テストを備えています。
  • EDAモデル適合性テストのためのMCA入力ファイルを作成できます。
  • コンプライアンステストの業界標準であるISMI EDA評価手法を採用しています。
  • 多彩なレポートオプション (要約、細目) を用意しています。
  • 装置メーカー様での出荷前テストおよびICメーカ様でのEDA装置の受入検査に利用できます。