设备连接性

设备连接性产品用于自动化制造设备,使设备能够与管理整个工厂的信息与控制系统进行通讯。在成熟的行业内,设备和工厂系统之间的通讯由精确定义的标准管理,这些标准运用常见的计算与网络平台,同时提供有效且高效执行操作所需的特定命令、控制和数据收集能力。

Equipment Connectivity

SECS/GEM

SECS/GEM标准是半导体(前端及后端)、平板显示器、电子组件组装(PCB制造、表面贴装技术)、光伏、HB-LED,以及其他类似制造行业内各种设备中应用最为广泛的标准。SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境,让工厂软件能够控制并监视制造设备。此外,由于GEM标准按照半导体的具体特性编写稀少,因此几乎能够应用到任何行业的制造设备。  

获奖的Cimetrix CIMConnect™软件工具包提供在制造设备上开发和部署通讯接口所需的软件库、应用程序样例、测试工具以及GEM手册模板。CIMConnect架构支持SEMI SECS/GEM标准和SEMI PV2标准,以及许多具有一般通讯抽象层的独立主机接口。

CIMConnect工具包提供:

  • 经过行业测试的模块,可实现SEMI标准E4、E5、E30和E37,以及PV2 07-09 (PVECI)标准。
  • 支持多主机联机,缩短开发时间,提高质量。
  • 简单、与语言无关的程序通讯架构与API。
  • 全功能的GEM通讯,开箱即用。
  • 无需重新编译即可动态修改配置,减少开发精力和验收测试时间。
  • 利用Cimetrix CIM300™工具包,其中包含实施SEMI GEM300标准的框架。 
  • 测试软件由TESTConnect™和SECSConnect™组成。

如需了解更多信息或下载数据表,请访问Cimetrix CIMConnect英文页面。。

GEM300

半导体工厂需要300mm设备(甚至是200mm设备)来满足SEMI GEM300通讯标准,以及晶圆厂的特定情境。获奖的Cimetrix CIM300™工具包提供实现这些标准的整套模块。

CIM300让设备供货商能够在花费最少量时间与成本的条件下实现GEM300以及兼容SECS/GEM标准的接口。CIM300工具包提供:

  • 经过行业测试的独立模块,可实现以下SEMI GEM300标准:E39, E40, E87, E90, E94, E116, E148和E157。
  • 简单、与语言无关的程序通讯架构与API。
  • 创建、删除和修改E39对象服务的API功能。
  • 实现EMI SECS/GEM标准E4, E5, E30和E37的Cimetrix CIMConnect™工具包。
  • 测试软件,内含CIM300 SDK。
  • 开发更复杂测试情景的SECSConnect™。

如需了解更多信息或下载产品手册,请访问CIM300CIM300英文页面。

EDA/Interface A

EDA/Interface A由行业专家开发,符合先进晶圆厂的数据获取性能、灵活性以及数据质量的要求。这些工厂内的利益相关方将使用EDA执行各种工作,包含线上错误检测及分类(FDC)、批次级和晶圆级的先进过程控制(APC)、设备与工厂产出量优化、预防性维护、良品率管理以及其他的工厂分析工作。这些标准与用于提供MES连接性的SECS/GEM标准互补。

Cimetrix CIMPortal™ Plus软件工具包为设备制造商提供全面的设备数据获取(EDA)解决方案。此外,CIMPortal Plus软件可供翻新改造已有设备的集成设备制造商(IDM)使用。

软件开发工具包(SDK)含有用于设计、开发、测试、优化及部署EDA/Interface A通讯的工具,该工具完全符合SEMI标准,可适应来自不同软件和硬件平台的数据收集。

CIMPortal让设备制造商能够按照客户要求支持冻结版本1 (1105)和冻结版本II(0710)这两个EDA/Interface A,标准

如需下载数据表或获取更多信息,请访问Cimetrix CIMPortal Plus英文页面。